柔性阵列式压力传感器

柔性阵列式压力传感器的组成

柔性阵列式压力传感器是利用弹性元件和基板组成的阵列,它由由硅和玻璃组成的柔性衬底组成,可以承受外界应力。每个基板都有一个或多个弹性元件组成。柔性阵列式压力传感器是一种将传感器和弹性元件连接到基板的结构。这些元件可以根据需要组装成传感器阵列或直接将传感器嵌入基板中来进行工作。

1.柔性阵列式压力传感器可通过简单的安装完成对各个方向的压力的测量。

这些传感器阵列通过将弹性材料的应力与基板和组件连接到一起来获得测量值。它们会被安装在基板上或组件上以形成传感器阵列。每个传感器阵列由两个弹性体组成:一个由玻璃材料制成、另一个由硅材料制成。传感器阵列在垂直方向上以一定倍数(3-10倍)测量压力;在水平方向上,则以一定倍数(5-10倍)测量压力、平均应变(加速度)和平均温度(K值)。

柔性阵列式压力传感器

2.每个传感器阵列都有多个传感器元件。

传感器阵列的宽度与传感器阵列中的弹性元件数量有关。如果单个阵列中有多个弹性元件,则需要使用多个基板来替换它们。每个传感器阵列都可以直接连接到基板上。柔性阵列式压力传感器的使用过程中只需要少量零件的组装,而且对环境没有太大要求。

3.每个像素组成一个阵列,其具有独特的像素分布函数。

由于玻璃基板可以承受应力(如外力),因此每个传感器阵列可直接在基板上安装。在没有衬底的情况下,与玻璃基板相比,阵列不受外部环境的影响。即使在不使用弹性元件的情况下,也可以以较低的压力实现较高的测量精度。在无衬底压力传感器情况下,传感器阵列可承受超过500 KPa的压力。与其他刚性-玻璃阵列相比,该传感器具有更大的灵敏度、更高的分辨率和更高的测量精度。当没有衬底压力时,该传感器有更大的尺寸密度。

4.每个传感器阵列由一块小的玻璃衬底。

如果玻璃不起作用,就不会对传感器阵列进行测量。因此,当需要用大电流来测量大加速度时,也不会对传感器阵列造成损伤。这种传感器阵列通常由玻璃制成,因此可以承受大量应力。

5.柔性压力传感器阵列中的每一个传感器组件都是单独的弹性元件阵列或一个传感器阵列为具有独立位移传感器。

这种结构的好处是可以获得更高的精度。使用在单个传感器上可以获得更高测量精度的系统可能不是很理想,因为其每道工序都必须要足够精确如果有其他组件需要独立工作,则可以使用单个传感器并以最小的尺寸进行组装。每个传感器都使用同一组弹性元件封装成一个组件;或者只有一组传感器封装成一个组件。这种方法允许在生产中不需要将所有组件组装成一个组件。但是这种结构允许最小的传感器器件被设计成独立工作并以最小的尺寸进行组装。