溅射薄膜压力传感器规范要求主要都有哪些

由于薄膜压力传感器是一种非常精密的传感器,所以在生产制造这种传感器的时候,有着非常多的规范要去遵循。溅射薄膜压力传感器规范主要包含这么几个事项,首先第1个包含的就是这个传感器在进行生产的时候,上面会有一层薄膜。这个薄膜实际上是一个绝缘层,而且要求这个薄膜一定要厚度均匀,然后薄膜不能够太大,也不能够太小,要根据其量程的情况来合理的确定这个薄膜的尺寸,这样才能够满足内部应力变化的要求。下面来为大家介绍一下其他的一些规范要求。

溅射薄膜压力传感器规范第2个重要的内容就是这个薄膜里面的杂质的一个规范要求。由于这种传感器本身精密度要求比较高,所以在生产这个薄膜的时候要求其中含有的杂质量非常的少,而且要求这个薄膜不能够有吸附气体,如果有太多的杂质或者有吸附气体的话,就可能会导致绝缘性能降低,也可能会导致漏电流增大,甚至有可能会失去救援的效果,这样就有可能使得压力发生变化的时候,不能够很好的传递出电流信号,另外第3个重要的规范标准就是要对薄膜的击穿电压值进行测量,要确保这个薄膜是一个非常优良的绝缘体,然后才可以在这个薄膜的基础之上进行涂层设计,从而使得其具有更优异的敏感度。

溅射薄膜压力传感器规

溅射薄膜压力传感器规范就简单给大家聊,这个,实际上在生产这种产品的时候,其他很多的规范都要去遵循,当然这些东西都是生产厂商以及这种压力传感器的设计人员需要去考虑的问题。

比如还要要求这个薄膜具备良好的弹性形变传导的效果,这样的话当外界的压力传递过来了之后,随着这个弹性形变发生改变,然后才能够间接的使得其内部的电桥电路信号发生改变,这样才可以感知到信号才可以测量到压力。另外就是针对一些特殊情况下,也可能会有不同的规范,比如说有些传感器可能要在温度比较高的情况之下使用,那就要求这个传感器具有很好的热稳定性。