溅射薄膜压力传感器 最小压力是多少

中国大陆高密度溅射薄膜压力传感器技术研究与开发中心（筹),北京天源仪表股份有限公司成立于1999年7月，是中国大陆高密度溅射薄膜压力传感器的领先制造商。天源公司是一家专业从事高密度和小尺寸溅射薄膜压电元件的研发、生产与销售的高科技企业。天源压力传感器具有测量灵敏度强、高精度、可靠性高等特点；天源产品涵盖了各种金属电极、膜片和薄膜器件，广泛应用于医疗仪表诊断和汽车电子、汽车零部件及系统集成中。本文将主要介绍在溅射过程中压力传感技术。

一、溅射机理及分类

在许多应用领域中，薄膜压力传感器的工作压力取决于溅射气体密度(H2O)。其中,H2O为溶解气体时的压力。为确定溅射气体来源，可以通过实验测定溅射气体密度来确定气体来源。根据其在不同的时间和空间下有不同的速度，气体溅射分为两种：光离子溅射和时间离子溅射。两种不同类型的溅射气体都是由不同的射速造成的。

二、压力传感器的结构与应用

在压力传感器中，压电金属片上安装有电流，其电流流经被测对象时会产生感应电动势(VCV)。在这种电动势作用下，电极将会发生作用从而产生压力。在这种作用下电极可以测量到压电金属片所产生的拉力（图1)。这种传感器广泛地用于汽车电子和工业领域，如：汽车空调、电气系统和传感器。此外，还有一种用于其他领域的压电技术（如电阻器、传感器等):例如在医疗设备上用于测量体内液体及其压力、磁共振成像(MRI)设备。

三、小结

在溅射过程中，压力传感器主要用来测量材料在溅射过程中的挠度。这些挠度很大程度上取决于溅射过程本身。由于温度不稳定，溅射过程和工艺过程的界面没有变化。因此，从衬底和溅射介质的角度来说，压力传感器只能通过测试来控制材料挠度，而不能控制衬底和溅射介质之间的界面压力。但是对于这种技术来说，最小压力是非常重要的。因为当衬底和溅射介质之间存在压力差时，材料在溅射介质中受热膨胀时会产生压应力。