膜片式压力传感器工作原理

膜片式压力传感器工作原理

膜片式压力传感器(MPPD)是一种压电式压力传感器。由于压电陶瓷材料具有良好的导电性的特点, MPPD被广泛用于电子元件和医疗设备。它适用于精密电子工业的测量,并在多个领域有广泛的应用。它具有较高的精度,能够测量非常细微的压力。它对电荷或机械振动敏感。它们通常与一个固体膜(molar lens)配合使用,如硅材料(Si/SiC)。

膜片式压力传感器工作原理

1.工作原理

它由两个或多个压电体组成。压电体与薄膜之间是相互作用的。当薄膜受到振动时,其机械性质也会改变。膜接触的压电效应对压力敏感,因此在测量过程中具有更好的灵敏度和性能。此外,由于膜片上填充的固体(如 Si/SiC)是由陶瓷材料制成的,因此它可以在较低的温度下工作,并且具有更高的稳定性和抗振性。

2.测量特性

可以在任何温度和压力条件下测量。如果传感器不稳定,则无法提供测量特性。压电陶瓷在压力下会产生电场畸变?,这种性能的主要缺点是成本高昂且不稳定,从而限制了它的使用范围。目前用来对流体进行压力测量的膜元件主要包括:弹性膜(molar lens)、陶瓷层(silicon lens)、粘合剂环(polycroll)以及与基材相互作用最强的硅材料。

3.注意事项

注意:如果使用 MPPD作为压力测量设备,则应考虑该设备的安装条件以及是否允许安装到传感器上或者安装在哪里。因为 MPPD是直接安装在被测量表面上的,因此在安装时应考虑这些因素。安装 MPPD时注意,如果 MPPD安装不正确,会导致传感器内部元件松动并导致压力信号泄漏,甚至会导致传感器失效;如果 MPPD安装不正确,则会导致传感器内部元件短路;当传感器安装在被测表面时,使用多层压力传感器可能会导致不准确、不连续以及对环境有影响。此外,因为 MPPD本身具有很强的抗氧化能力,所以它可以长期保存和储存。并且不存在化学侵蚀和氧化等现象。